产品展示

晶圆缺陷检测镜头

产品介绍 系统指标

AOI光学检测系统采用高精度光学镜头，实现半导体晶圆涂胶、光刻和显影工艺后产品质量的检测。自主研发了大视场高精度成像光学镜头，满足12寸晶圆表面缺陷的全范围检测，具有高分辨率、高像面均匀性与低畸变等优点。

a）成像谱段：可见光

b）检测范围：≥300mm

c）分辨率：≤20μm

d）畸变：≤0.05%

e）物像距：≤395mm

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